2、接通電源，將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10V，然后開機。

3、調零，系統在開機后開路狀態會自動調零。

4、連接線路，接好測試線，將測試線將主機與屏蔽箱連接好，測體積電阻時測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時測試按鈕撥到Rs邊。然后開機。

5、選擇合適的測量電壓，電壓選擇開關在后面板，注意，在測試過程中不要隨意改動測量電壓，可能因電壓的過高或電流過大損壞被測試器件或測試儀器;

6、測試：

6.1、選擇測試樣品種類：固體、液體或者粉末。

6.2、選擇固體測量之后，如果測量體積電阻率，在對應方框內輸入材料厚度，測試結果可以直接顯示體積電阻和體積電阻率。如果測量表面電阻，不需要輸入表面積參數，系統能夠直接顯示電阻和表面電阻率。選擇液體和粉末時不需要輸入參數。

6.3、點擊開始測量，測量時從低檔位逐漸拔往，每撥一次稍停留1～2秒以使觀察顯示數字， 當被測電阻大于儀器測量量程時，電阻表顯示“1”，此時應繼續將儀器撥到量程更高的位置，當測量儀器有顯示值時應停下，當前的數字乘以檔次即是被測電阻值。當有顯示數字時不要再往更高次檔撥，否測儀器會過量程，機內保護電路開始工作，儀器測量準確度會下降。

6.4、測量結束，點擊實驗結束。

7、測試完畢將電阻電流量程拔至“104 ”檔，電壓量程調至10V后關閉電源，每測量一次均應將量程開關撥回到104“調零”檔的量程位置以免開機或測量端短路時而損壞儀器。

8、測量電流及1015Ω以上超高電阻的測量應用測量電流后用歐姆定律以電壓除以電流計算電阻的方法，詳見8.5節內容。

9、體積電阻和表面電阻轉換，在測試過程中，使用屏蔽箱在進行體積電阻和表面電阻轉換時，必須把電源關閉后進行檔位轉換，否則會導致電壓沖擊到主機無法顯示或損壞。